江西赣州150mm重掺硅单晶抛光片出口建设项目可行性研究报告

    本项目主要产品有：φ63.5mm~ 200mmCZ及φ63.5mm~76.2mmFZ硅单晶，φ76.2mm~150mm重掺砷、锑、硼硅单晶，切割、研磨片等，公司产品生产以国产设备和部分关键进口设备为主，产品标准按国家标准及国际SEMI标准进行控制。企业于1996年被认定为浙江省“九五”“五个一批”重点骨干企业、浙江省高新技术企业。公司于1999年3月通过ISO9002质量体系认证。拥有自营进出口权。现已形成年产硅单晶100吨、硅片5000万平方英寸的生产能力。 

    本项目年新增重掺硅单晶48吨（其中Ф150mm硅单晶抛光片80万片，Ф120mm硅单晶抛光片12万片）。项目新征土地20000平方米，建设生产、办公、仓库、动力及辅助设施等共6000平方米（含净化面积625平方米）房屋，购置国内外先进生产设备及测试仪器和配套设施24台/套，建立一条150mm重掺硅单晶抛光片生产线。形成年产硅单晶抛光片2456万平方英寸的生产能力。 
随着IC集成度的提高，CMOS电路、新型场控型高频电力电子器件及微波功率器件越来越多地使用硅外延片，到2000年全球硅片的需求量总面积约为50亿平方英寸，其中硅外延片需求量总面积约10亿平方英寸。而重掺硅单晶抛光片主要用作硅外延片的衬底片，其市场前景广阔。该项目总投资19800万元，预计年销售收入为22260万元。 

    本项目主要进口设备：酸腐蚀机、贴片机、超声清洗机、抛光机、预清洗机、清洗机、供酸系统、片盒清洗机、硅片清洗机、厚度自动分档仪、硅片测试仪、硅片表面测试仪等。 
原材料供应：多晶硅从美国、德国等国家进口，其它辅助材料均采用国产。

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